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百级洁净室洁净度测试及方法测试

洁净室的空气洁净度,应进行下列测试:

空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。

静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。

动态测试:洁净室已处于正常生产状态下进行测试。洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。

百级洁净室环境测试时工作区空气洁净度的测试方法对于粒径大于或等于0.5微米的尘粒计数,宜采用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于5微米的尘粒计数也可采用滤膜显微镜计数法。

洁净室净非单向流流型曾称为乱流型(Turbulence Airflow),非单向流是一种不均匀气流分布方式,其速度、方向在洁净室内不同地点是不同的,这是洁净室中使用为普遍的气流组织形式。下图所示为非单向流的气流组织概。

因此, 非单向流洁净室所需要的换气次数将随着要求的洁净度和室内的污染物扩散情况不同而差别很大。

非单向流洁净室的气流组织形式依据**过滤器及回风口的安装方式不同而分为下列几类:顶送、侧下回;侧送、侧回;顶送、顶回。

这其中顶送、侧下回的气流组织形式是较为常用的形式。带扩散孔板风口顶送、侧下回的非单向流洁净室,经高 效过滤器的洁净空气由扩散板送出,工作区气流分布比较均匀,其空气洁净度明显优于周围,而周围区域由于送风进入室内后不断卷入室内污染空气,洁净度较差;在相邻送风口之间或洁净室四角、沿边等送风气流不能覆盖的部位洁净度会更差些。

所以在布置顶送风口时,为使洁净室内各处洁净度尽可能的均匀,在总送风量一 定的条件下适当多设送风口或均匀布置送风口,尽可能地让相邻送风口气流在工作区高度上衔接,确保工作区要求的洁净度。(文章采集自分析测试百科网,如涉及版权问题请联系我们删除)

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